奧松電子在MEMS智能傳感器領域深耕20余年，持續為客戶提供品質優良的傳感器產品，并不斷進行技術創新，采用自主研發的MEMS質量流量芯片，開發了一系列氣體質量流量控制器產品。這些MFC產品對于半導體、光伏、高端裝備制造、醫療設備、工業自動化等工藝精密和環境敏感的領域來說，產品自身的靈敏度、精確度及優良的性能起著至關重要的作用。

AS200氣體質量流量控制器

• 流量范圍覆蓋多個量程，從100SCCM到300SLM（可定制），能適應多種場景需求

• 可同時支持數字信號，1～5V或4～20mA模擬信號，方便客戶選擇

• 使用雙電源（±15 VDC）或單電源（+15～+28 VDC）

• 支持自動故障報警，多氣體多量程

• 精度高達±1%

• 免費提供上位機軟件

• 1×10-10 Pa·m3 / sec H的低泄露率，氣密性好，保障生產安全

AMC2000氣體流量控制器

• 量程從100SCCM到5SLM，可定制

• 重復性好，穩定可靠

• 支持多種氣體監測測量控制

• 標準Modbus-RTU通信

• 質量流量與溫度集成測量監測控制

• 更換了底座結構，優化了流道設計，使流量更加穩定

• 搭載了LED數碼管進行讀數顯示，并對控制狀態一目了然。

• 加載了按鍵操作，設置相關參數，簡單便捷。

  
  

選購指南

適用場景不同

AS200適用于多種常規氣體、混合氣體及腐蝕性氣體，量程規格很多，精度高，可以用于對氣體質量流量的精密控制和測量，非常適用于半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域。其典型的應用場合包括：集成電路工藝設備，如外延、擴散、等離子刻蝕、濺射、離子注入和各種CVD等設備；其他行業設備，如光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及其它分析儀器等。

AMC2000是針對微小氣體流量的測量與控制，可廣泛應用于高校科研、消防、環境監測、煙草、智慧農業、食品、醫藥等行業的質量流量控制監測。

客戶可根據自己應用的實際場景選擇合適的量程范圍和精度的產品。如果您還不是很清楚該如何選型，歡迎掃描以下二維碼進行咨詢。