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MEMS氣體質量流量控制器是通過調節閥門大小開度來進行控制氣體流量大小的專用閥門，用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制，其性能指標的好壞直接影響到氣體流量控制精密度和準確度，進而影響整機分析結果的準確性和可靠性，是高校科研院所和廣泛的工業過程自動化控制中不可缺少的設備。

負離子濃度的高低與人們的健康息息相關，按照世界衛生組織的規定，負氧離子濃度可作為衡量空氣是否潔凈的標準之一。當每立方厘米的負氧離子含量在1000-1500個時，即可被稱為潔凈空氣。目前，中國許多濕地公園、植物園、景區等綠色生態園地都安裝了負氧離子監測設備，對空氣中的負氧離子濃度進行監測，以此作為空氣質量是否優良的評判標準之一。

硫化氫，是一種易燃劇毒的酸性氣體，低濃度時有臭雞蛋氣味，與空氣混合能形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒爆炸，對人類的身體健康和生命安全會造成巨大的威脅。